一種用于再生離子交換劑的電滲析設(shè)備，更特別地講，涉及這樣一種用于再生這樣離子交換劑的方法與設(shè)備：該方法與設(shè)備在用來處理一塊片基(譬如一塊半導(dǎo)體晶片)表面的導(dǎo)電材料或者除去附著在該片基表面的雜質(zhì)的電解處理中，能夠用電化學(xué)方法除去該電解過程中使用的離子交換劑內(nèi)所吸收的金屬或其他離子，從而再生該離子交換劑。各類離子交換膜可用于反滲透和超過濾等分離方法中，例如它們?cè)诤Ｋ擕}和堿化水及工業(yè)廢液的凈化中得到了廣泛的應(yīng)用。離子交換膜在工業(yè)上，例如在果汁和藥品等的溶液的濃縮中也得到許多應(yīng)用。電滲析設(shè)備對(duì)于水壓法基本上是不滲透的而對(duì)于溶解的陽離子或陰離子，或者對(duì)兩者都是可滲透的，在燃料電池、使電解質(zhì)電解的電解槽和電合成的電化槽中發(fā)現(xiàn)日益增長的應(yīng)用。在安裝有生氫陰極并且用在鹽水電解的電解池中，通過彼此緊密接觸地設(shè)置陽 極、離子交換膜和生氫陰極，以降低電池電壓。但是，在大規(guī)模電解池中，其中陽極和陰極由 剛性材料制成，電解面積達(dá)到幾平方米，通過將兩個(gè)電極緊密接觸在離子交換膜上，幾乎不 能將電極間距離保持在規(guī)定值。彈性元件包括：由金屬線制成的編織物和織物；或通過堆疊織物而制備的結(jié)構(gòu)； 或者通過三維編制織物，然后進(jìn)行卷曲處理而制備的結(jié)構(gòu)；以及由金屬纖維制成的非織物； 線圈跳簧（彈簧）；和片簧。各類設(shè)備中的部件近來都變得更加精細(xì)，并要求更高的精度。隨著亞微制造技術(shù)的普遍使用，材料的性質(zhì)受到處理方法的極大影響。在這些情況下，在這種利用工具、采用物理方法來從工件的表面毀壞并除去它的希望部分的傳統(tǒng)制造方法中，可能產(chǎn)生大量使該工件性質(zhì)惡化的缺陷。所以，進(jìn)行不引起材料性質(zhì)惡化的處理就變得非常重要。電滲析設(shè)備將液體供應(yīng)到該隔板與該再生電極之間，而且也將液體供應(yīng)到該隔板與該反電極之間；以及其中該隔板當(dāng)該要被再生的離子交換劑為陽離子交換劑時(shí)是一種陽離子交換劑，而當(dāng)該要被再生的離子交換劑為陰離子交換劑時(shí)則是一種陰離子交換劑。