在超純水設(shè)備的生產(chǎn)過(guò)程中，水中的陰陽(yáng)離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換技術(shù)等去除，水中的顆粒一般可用超過(guò)濾、膜過(guò)濾等技術(shù)去除；水中的細(xì)菌，目前國(guó)內(nèi)多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除；水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水的應(yīng)用領(lǐng)域中，水的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性，因此高純水要求具有相當(dāng)高的純度和精度。電滲析使用的半滲透膜其實(shí)是一種離子交換膜。這種離子交換膜按離子的電荷性質(zhì)可分為陽(yáng)離子交換膜(陽(yáng)膜)和陰離子交換膜(陰膜)兩種。在電解質(zhì)水溶液中，陽(yáng)膜允許陽(yáng)離子透過(guò)而排斥阻擋陰離子，陰膜允許陰離子透過(guò)而排斥阻擋陽(yáng)離子，這就是離子交換膜的選擇透過(guò)性。