隨著半導(dǎo)體市場的建立和壯大,作為供給半導(dǎo)體生產(chǎn)線不可缺少的高純水設(shè)備成為保障生產(chǎn)的重中之重。在目前生產(chǎn)高純水的各種各樣的*的水處理設(shè)備中時常會出現(xiàn)一些不可預(yù)知的故障,*早人們采用故障診斷的方法是人工方法,由工程技術(shù)人員或者專家憑經(jīng)驗進行判斷,或者是利用專門的儀器進行現(xiàn)場測量得以分析判斷,這些方法在大型復(fù)雜系統(tǒng)中是不現(xiàn)實的。因此我們要把控制理論、人工智能以及模式識別等學(xué)科技術(shù)容入到故障診斷技術(shù)中去使其成為一門相對獨立發(fā)展的技術(shù),成為實際大規(guī)模復(fù)雜系統(tǒng)運行過程中的可靠保障。 本文首先通過對生產(chǎn)現(xiàn)場的工藝原理和流程分析,采用GE90系列的PLC對此套高純水設(shè)備自動化控制進行編制,介紹了系統(tǒng)的硬件組成和各個控制回路的控制要求以及程序流程圖。 針對于在高純水監(jiān)控系統(tǒng)實現(xiàn)上采用了組態(tài)王6.5軟件設(shè)計界面,詳述了組態(tài)王設(shè)計監(jiān)控界面的過程,展示了系統(tǒng)詳圖、報警圖、報表圖、曲線圖等實時監(jiān)控圖面。 作為控制系統(tǒng),大家熟知的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)、模糊數(shù)學(xué)等這些方法通常需要復(fù)雜的計算,并且只有在信息準確、完整的情況下才能得到滿意的結(jié)果,而實際上人們得到的信息往往不準確、不完整,并且通常設(shè)備的某一故障可以體現(xiàn)在所有的特征信號之中,而這些信號之間存在冗余的關(guān)系,可能通過某個或少量特征信號就可以完全表征出該故障。因此一種新的處理模糊和不確定性知識的數(shù)學(xué)工具粗糙集理論成為越來越多科研人員的關(guān)注。粗糙集理論是一個有效的工具,主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)挖掘,其它領(lǐng)域如模糊粗糙集控制、決策分析系統(tǒng)以及醫(yī)療診斷、專家系統(tǒng)等方面都有應(yīng)用,但在故障診斷技術(shù)中的應(yīng)用還不是很多。因此本文嘗試研究粗糙集理論在高純水設(shè)備故障診斷中的應(yīng)用,包括建立基本粗糙集模型,以及故障診斷系統(tǒng)的仿真實驗。在介紹了粗糙集的基本概念和理論后,利用收集到的部分數(shù)據(jù)進行了初步的RS建模、分明矩陣的約簡和規(guī)則庫的建立。*后應(yīng)用了VB軟件作為故障診斷系統(tǒng)開發(fā),作為檢驗故障診斷系統(tǒng)生成后可行性的平臺。通過得到的實驗數(shù)據(jù)進行仿真實驗,做到了在保證分類能力不變的情況下冗余信息的消除,降低了計算工作量和減少不確定性因素的影響,在仿真實驗結(jié)果分析中與實際生產(chǎn)線故障分析相比較,是基本一致的,去除掉了那些冗余的因素,快速的得到了診斷結(jié)果。