正多晶硅的生產工序復雜,在多晶硅生產中,高純水主要是用來清洗產品的,幾乎每道工序都要使用高純水,這樣產品與水直接接觸,使得加工過程中產生的微量污染得以洗凈,所以,高純水品質的好壞將對多晶硅質量起到重要影響。在此生產過程中,如果高純水中含有微量雜質就有可能使產品再次受到污染,使成品率下降,由此看來,高品質的純水對多晶硅生產就顯得尤為重要。